APA (7th ed.) Citation

Roosmalen, A. J. v., Baggerman, J. A. G., & Brader, S. J. H. (1991). Dry etching for VLSI. Plenum Press.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Roosmalen, A. J. van, J. A. G. Baggerman, and S. J. H. Brader. Dry Etching for VLSI. New York: Plenum Press, 1991.

MLA (9th ed.) Citation

Roosmalen, A. J. van, et al. Dry Etching for VLSI. Plenum Press, 1991.