rdf-syntax-grammar
mods:
  schema location: http://www.loc.gov/mods/v3 http://www.loc.gov/standards/mods/v3/mods-3-2.xsd
  title info:
    title: Ätzverfahren für die Mikrotechnik
  name:
    name part: Köhler, J. M. (J. Michael)
    name part: 1956-
    role:
      role term: creator
  type of resource: text
  genre: bibliography
  origin info:
    place:
      place term: gw
    place:
      place term: Weinheim
    publisher: Wiley-VCH
    date issued: ©1998
    date issued: 1998
    issuance: monographic
  language:
    language term: ger
  physical description:
    form: remote
    extent: 1 online resource (xvi, 398 pages) : illustrations
  table of contents: Einführung -- Besonderheiten mikrotechnischer Ätzverfahren -- Nassätzverfahren -- Trockenätzverfahren -- Mikroformgebung durch Ätzen von lokal verändertem Material -- Ausgewählte Vorschriften.
  note: Michael Köhler.
  note: Includes bibliographical references and index.
  subject:
    topic: Masks (Electronics)
  subject:
    topic: Microlithography
  subject:
    topic: Plasma etching
  classification: TK7872.M3 K64 1998
  classification: 621.3815/31
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    title info:
      title: Ätzverfahren für die Mikrotechnik
    name:
      name part: Köhler, J.M. (J. Michael), 1956-
    origin info:
      publisher: Weinheim : Wiley-VCH, ©1998
  identifier: 3527288694
  identifier: 9783527288694
  identifier: 3527602917
  identifier: 9783527602919
  identifier: http://proxy.library.tamu.edu/login
  record info:
    record content source: NhCcYBP
    record creation date: 050719
    record change date: 20260214232806.8
    record identifier: in00004689327
    language of cataloging:
      language term: eng