http://www.loc.gov/mods/v3 http://www.loc.gov/standards/mods/v3/mods-3-2.xsd
1 online resource (xvi, 398 pages) : illustrations
Einführung -- Besonderheiten mikrotechnischer Ätzverfahren -- Nassätzverfahren -- Trockenätzverfahren -- Mikroformgebung durch Ätzen von lokal verändertem Material -- Ausgewählte Vorschriften.
Includes bibliographical references and index.