Advances in low temperature rf plasmas : basis for process design /

Bibliographic Details
Other Authors: Makabe, T. (Toshiaki)
Format: Book
Language:English
Published: Amsterdam ; Boston : North Holland/Elsevier, 2002.
Edition:1st ed.
Subjects:

MARC

Tag First Indicator Second Indicator Subfields
LEADER 00000cam a22000004a 4500
001 in00001712708
005 20151024185055.0
008 020514s2002 ne a b 001 0 eng
010 |a  2002070662 
020 |a 0444510958 
035 |a (OCoLC)ocm49844130 
040 |a DLC  |c DLC  |d C#P  |d TXA  |d UtOrBLW 
042 |a pcc 
049 |a TXAM 
050 0 0 |a TA2020  |b .A63 2002 
082 0 0 |a 621.044  |2 21 
245 0 0 |a Advances in low temperature rf plasmas :  |b basis for process design /  |c edited by T. Makabe. 
250 |a 1st ed. 
264 1 |a Amsterdam ;  |a Boston :  |b North Holland/Elsevier,  |c 2002. 
300 |a xii, 341 pages :  |b illustrations ;  |c 27 cm. 
336 |a text  |b txt  |2 rdacontent 
337 |a unmediated  |b n  |2 rdamedia 
338 |a volume  |b nc  |2 rdacarrier 
504 |a Includes bibliographical references and indexes. 
650 0 |a Low temperature plasmas  |x Industrial applications. 
700 1 |a Makabe, T.  |q (Toshiaki) 
948 |a cataloged  |b h  |c 2002/12/17  |d c  |e ceaton  |f 12:47:20 pm 
994 |a E0  |b TXA 
999 |a MARS 
999 f f |s dc59a828-1517-3c24-bc33-7b5786a694c1  |i b6fa5a87-3467-3f9d-9d7a-46c9626726a1  |t 0 
952 f f |p normal  |a Texas A&M University  |b College Station  |c Sterling C. Evans Library  |d Evans: Library Stacks  |t 0  |e TA2020 .A63 2002  |h Library of Congress classification  |i unmediated -- volume  |m A14829581169 
998 f f |a TA2020 .A63 2002  |t 0  |l Evans: Library Stacks