Fundamentals of microfabrication /

Bibliographic Details
Main Author: Madou, Marc J.
Format: Book
Language:English
Published: Boca Raton, Fla. : CRC Press, [1997]
Subjects:

MARC

Tag First Indicator Second Indicator Subfields
LEADER 00000cam a2200000 a 4500
001 in00001402627
005 20151020052127.0
008 960830s1997 fluaf b 001 0 eng
010 |a  96043344  
020 |a 0849394511 (acid-free paper) 
035 |a (OCoLC)35397909 
035 |9 AHM2701AM 
040 |a DLC  |c DLC  |d TXA  |d UtOrBLW 
049 |a TXAM 
050 0 0 |a TK7836  |b .M33 1997 
082 0 0 |a 621.3815/2  |2 20 
100 1 |a Madou, Marc J. 
245 1 0 |a Fundamentals of microfabrication /  |c Marc Madou. 
264 1 |a Boca Raton, Fla. :  |b CRC Press,  |c [1997] 
264 4 |c ©1997 
300 |a 589 pages, 22 unnumbered pages of plates :  |b illustrations (some color) ;  |c 29 cm. 
336 |a text  |b txt  |2 rdacontent 
337 |a unmediated  |b n  |2 rdamedia 
338 |a volume  |b nc  |2 rdacarrier 
504 |a Includes bibliographical references (pages 565-569) and index. 
650 0 |a Microelectronics  |x Design and construction. 
650 0 |a Machining. 
650 0 |a Microelectronic packaging. 
650 0 |a Lasers  |x Industrial applications. 
999 |a MARS 
999 f f |s f6f9cc40-724f-3ed2-bb2b-ac54618bf548  |i 1356da4d-0c73-3525-b391-219d21b5edb3  |t 0 
952 f f |p normal  |a Texas A&M University  |b College Station  |c Sterling C. Evans Library  |d Evans: Library Stacks  |t 0  |e TK7836 .M33 1997  |h Library of Congress classification  |i unmediated -- volume  |m A14821636986 
998 f f |a TK7836 .M33 1997  |t 0  |l Evans: Library Stacks