Silicon nitride in electronics /

Bibliographic Details
Other Authors: Belyĭ, V. I. (Vi͡acheslav Ivanovich), 1938-, Rzhanov, Anatoliĭ Vasilʹevich
Format: Book
Language:English
Russian
Published: Amsterdam ; New York : Elsevier, 1988.
Series:Materials science monographs ; 34.
Subjects:

MARC

Tag First Indicator Second Indicator Subfields
LEADER 00000cam a2200000 a 4500
001 in00000778564
005 20151017061229.0
008 860714s1988 ne a b 00100 eng
010 |a  86016805  
020 |a 0444426892 
035 |a (OCoLC)14002670 
035 |9 ADM6065AM 
040 |a DLC  |c DLC  |d TXA  |d UtOrBLW 
041 1 |a eng  |a rus 
049 |a TXAM  |c [A12345219] 
050 0 0 |a TK7871.15.S558  |b N5313 1988 
082 0 |a 621.381/7  |2 19 
245 0 0 |a Silicon nitride in electronics /  |c V.I. Belyi [and others], edited by A.V. Rzhanov. 
264 1 |a Amsterdam ;  |a New York :  |b Elsevier,  |c 1988. 
300 |a viii, 263 pages :  |b illustrations ;  |c 25 cm. 
336 |a text  |b txt  |2 rdacontent 
337 |a unmediated  |b n  |2 rdamedia 
338 |a volume  |b nc  |2 rdacarrier 
490 1 |a Materials science monographs ;  |v 34 
504 |a Includes bibliographies and index. 
650 0 |a Microelectronics  |x Materials. 
650 0 |a Silicon nitride. 
700 1 |a Belyĭ, V. I.  |q (Vi͡acheslav Ivanovich),  |d 1938- 
700 1 |a Rzhanov, Anatoliĭ Vasilʹevich. 
830 0 |a Materials science monographs ;  |v 34. 
999 |a MARS 
999 f f |s f360315e-74e1-3b43-9f77-abf33e5b619a  |i d8cb5022-0e19-39e6-9bb9-0d751b8aca06  |t 0 
952 f f |p ric  |a Texas A&M University  |b Rellis Campus  |c Joint Library Facility  |d Remote Storage  |t 0  |e TK7871.15 .S558 N5313 1988  |h Library of Congress classification  |i unmediated -- volume  |m A14812345219 
998 f f |a TK7871.15 .S558 N5313 1988  |t 0  |l Remote Storage